產品例：
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外延設備在現代半導體行業中是關鍵的一環，在LED關鍵設備MOCVD及化合物半導體外延設備中，東海碳素的碳化硅SiC及碳化鉭TaC涂層石墨盤被廣泛應用。東海碳素的化學氣相沉積的SiC涂層工藝有以下幾大優勢： 1、出色的抗熱沖擊阻力 2、出色的抗物理沖擊阻力 3、出色的耐化學性 4、超高純度 5、可加工成各種復雜的形狀 6、在氧化環境下仍然可以使用 7、較長的壽命 |
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涂層石墨盤 |
